工信部推广分辨率≤65nm国产氟化氩光刻机 张江高科等竞价涨停
2024-09-18 09:36:48
来源：
网易财经
9月18日讯 张江高科（600895）、同飞股份（300990）、海立股份（600619）竞价涨停，富乐德（301297）、蓝英装备（300293）涨超10%，东方嘉盛（002889）、国林科技（300786）、京华激光（603607）、凯美特气（002549）。波长光电（301421）等涨超5%。
消息面上，工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中在电子专用装备目录下，集成电路生产装备包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
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