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上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题
2026-05-12 10:20:00
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人民财讯5月12日电,上海人工智能(885728)实验室官微消息,光刻胶(885864)作为芯片制造的核心材料之一,其质量直接影响芯片的性能和成品率。近日,依托2030新一代人工智能(885728)国家科技重大专项总体部署,上海人工智能(885728)实验室(上海AI实验室)联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位基于“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台,构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系,实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶(885864)树脂创制。这一突破使高端光刻胶(885864)树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”,为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。目前,上述平台已支撑多批次自动化合成与性能验证,批次间一致性得到显著提升。其中,厦门恒坤新材(688727)料科技股份有限公司基于光刻胶(885864)配方开发经验,完成了树脂适配,产业关键指标均达预期后续将进入客户端验证阶段。

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