赋能SiC大规模量产:KGD双芯片测试座并行测试

2026-07-17 21:16:53
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赋能SiC大规模量产

KGD双芯片测试座并行测试

行业背景与产能瓶颈

随着电动汽车(EV)产业发展,碳化硅(SiC)已成为牵引逆变器(884304)的核心部件。但在实际量产中,行业正面临以下严峻挑战:

静态测试盲区:传统DC测试难以排查亚微米级缺陷,仅10%的对准偏差就会导致短路耐受时间(SCWT)缩短0.5 s。

微秒级生死线:SiC的短路存活时间仅为2至7 s,超时极易引发热失控或器件瞬间烧毁。

成本与标准双重施压:为消除2%至3%的现场故障,汽车行业强制要求动态测试;在裸晶(KGD)阶段提前筛选,更能避免高达3倍的封装沉没成本。

1500 UPH产能天花板:面对规模化量产(HVM)需求,上一代单芯片分选机受限于机械结构,产能上限仅约1500 UPH,亟需全新架构破局。

核心技术与破局方案

为打破这一产能瓶颈,联讯仪器(688808)PB6800引入了下一代高并行度双芯片架构与混合式转塔-轨道设计:

高并行双芯片架构:6工位并行的双芯片插座(Dual-die sockets)允许每次下压测试两颗芯片,测试吞吐量大幅提升,充分满足规模化量产需求。

混合式转塔-轨道设计:成功实现“工位解耦”——转塔专职快速上下料与分选,线性轨道负责驱动高速电气测试,确保芯片在测试前达到完全的热平衡。

极致硬连接(Hard-Docking):测试机与分选机刚性对接,消除线缆环路,将交流杂散电感严格控制在40 nH以下,有效防止破坏性的电压过冲。

充氮防弧插座:采用密封的N2充气微环境提升击穿阈值,消除3000 V高压扫描测试中的电弧放电,保持干燥且无探针污染。

测试结果与产能飞跃

通过系统优化与周期解耦,全新的测试架构实现了质的飞跃:

基于0.7秒的测试时间,稳定实现了4000 UPH的超高吞吐量。

实现与多种载体(Wafer, Tape & Reel, Tray)的无缝集成,并可提供6个T&R输出。

高度集成了6面自动光学检测(AOI)及自动插座清洁、更换等功能,实现了全自动化的高效运转。

总结

双芯片插座使测试密度翻倍,硬连接将环路电感保持在40 nH以下,充氮微环境消除了高压放电,混合式设计成功隔离了机械瓶颈。这一系列创新打破了3000 UPH的产能壁垒,确立了4000 UPH的全新标准,为电动汽车牵引逆变器(884304),提供了一套稳定、满足零缺陷要求的SiC裸芯片量产筛选标准。

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