IT之家 7 月 23 日消息，据滨州发布、大众日报消息，7 月 19 日，滨化集团举行电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会，宣布该集团旗下大晟芯材成功实现 6N 级高纯氟化氢规模化量产，产品关键指标达国际一流水准，一举填补山东省高纯氟化氢产能空白，为国内先进制程芯片制造供应链自主可控再添关键支撑。
高纯氟化氢是芯片蚀刻、清洗环节不可或缺的核心原料，被誉为半导体（881121）产业的“化学雕刻刀”。
6N 级（99.9999%）高纯氟化氢是适配 28 纳米及以下先进制程的必需品，长期以来核心技术被海外企业垄断，国内多数产品普遍停留在 5N 级（99.999%），微小杂质差距直接制约国产芯片良率提升，是半导体（881121）领域典型“卡脖子”材料。
大众日报称，西方垄断 6N 级高纯氟化氢全球约 80% 的市场份额。目前市场价格已在 200 万元 / 吨以上。
高纯氟化氢作为滨化首款落地的电子特气产品，关键金属离子杂质含量低于 1ppb，与国际一流水平接轨。滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍：“别小看这后面多出来的一个‘9’—— 在芯片制造中，金属杂质含量哪怕只高出几个 ppb（十亿分之一），都可能导致芯片良率大幅下降。”
此次滨化集团技术突破绝非单点攻关，而是工艺、工程、检测、充装一套全流程系统创新成果：企业攻克多重精馏耦合、低析出设备选材、钢瓶洁净防护、微量杂质精准检测四大核心技术，严控金属离子杂质含量低于 1ppb，解决了生产、储运全链条二次污染难题。
目前，滨化已完成 50 吨 / 年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，并于 7 月 16 日取得山东省特种设备检验研究院颁发的气瓶充装许可证，具备了完整的生产、充装、销售资质，实现了从实验室到产业化的闭环。依托过硬产品品质，已面向行业重点企业开展产品推介。6N 级高纯氟化氢市场附加值高，该项目落地将有效提升区域化工（850102）产业向高端电子化学品（881172）转型核心竞争力。
