“半导体材料紫外光电子能谱/产额谱”等2项技术标准正式发布

2026-09-28 16:37:18
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问财摘要

1、2026年9月28日,由西安交通大学牵头制定的团体标准T/CASAS 055—2026《半导体材料紫外光电子能谱测试方法》和T/CASAS 056—2026《半导体材料紫外光电子产额谱测试方法》正式发布。这些标准描述了第三代半导体材料紫外光电子能谱测试和紫外光电子发射产额测试的方法,适用于半导体领域常用第三代半导体材料的测试。 2、起草单位包括西安交通大学、中国科学院半导体研究所等,起草人包括陈玉、魏学成等。 3、所有联盟正式发布的标准文本可登录联盟官方网站免费下载。 4、陕西省“光电子谱分析仪器技术及应用”科技创新团队致力于开发中国人自己的电子能谱类材料表面分析仪器,实现仪器整机及关键核心部件国产化,助力我国集成电路、高端仪器、先进材料领域研发的技术突破,实现高质量发展。
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2026年9月28日,由西安交通大学牵头制定,遵循CASAS标准制定流程,经过标准起草小组会议讨论、广泛征求意见、委员会草案投票等流程,团体标准T/CASAS 055—2026《半导体材料(884091)紫外光电子能谱测试方法》、T/CASAS 056—2026《半导体材料(884091)紫外光电子产额谱测试方法》正式发布。

T/CASAS 055—2026《半导体材料(884091)紫外光电子能谱测试方法》描述了第三代半导体(885908)材料紫外光电子能谱测试的方法,包括目的、原理、要求、标准材料、样品制备、程序、数据处理、报告。适用于半导体(881121)领域常用第三代半导体(885908)材料的紫外光电子能谱测试。

【本文件主要起草单位】

西安交通大学、中国科学院半导体(881121)研究所、西北大学、北京卫星环境工程研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院高能物理研究所、陕西科控技术产业研究院有限公司、北京玉研精密仪器有限公司、上海恒益光学精密机械有限公司、常州玉宇电光器件有限公司、北京第三代半导体(885908)产业技术创新战略联盟。

【本文件主要起草人】

陈玉、魏学成、王双、张敏、闫丹、侯潇涵、郭雅丽、张思超、张浩、魏麟欢、童柏豪、刘鑫、毛佳乐、白洁、钟辉、王妍、李振璇、谭奥、王以宁、刘京宜、周嘉杰、张浩业、尚世博、赵亚林、沈自才、黄煜、刘术林、吕永卫、洪才浩、范有余、殷尧平、刘康、高伟。

T/CASAS 056—2026《半导体材料(884091)紫外光电子产额谱测试方法》描述了第三代半导体(885908)材料紫外光电子发射产额测试的方法,包括目的、原理、要求、标准材料、样品制备、程序、数据处理、报告。适用于半导体(881121)领域常用第三代半导体(885908)材料的紫外光电子发射产额测试。

【本文件主要起草单位】

西安交通大学、中国科学院半导体(881121)研究所、西北大学、北京卫星环境工程研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院高能物理研究所、陕西科控技术产业研究院有限公司、北京玉研精密仪器有限公司、上海恒益光学精密机械有限公司、常州玉宇电光器件有限公司、北京第三代半导体(885908)产业技术创新战略联盟。

【本文件主要起草人】

陈玉、魏学成、王双、张敏、闫丹、侯潇涵、郭雅丽、张思超、张浩、魏麟欢、童柏豪、刘鑫、毛佳乐、白洁、钟辉、王妍、李振璇、谭奥、王以宁、刘京宜、周嘉杰、张浩业、尚世博、赵亚林、沈自才、黄煜、刘术林、吕永卫、洪才浩、范有余、殷尧平、刘康、高伟。

所有联盟正式发布的标准文本,可登录联盟官方网站,免费下载。

陕西省“光电子谱分析仪器技术及应用”科技创新团队,面向国家高端分析仪器自主研发的重大需求,依托电工材料电气绝缘全国重点实验室和西安交通大学电气测量与仪器技术研究所等科研平台,先后主持国家重点研发计划项目1项、国家自然科学基金项目10余项、装发预研项目4项以及各类科研课题50余项。团队聚焦国家和行业发展重大需求,积极开展跨学科研究,培养高端科学仪器领域高层次复合型人才,致力于开发中国人自己的电子能谱类材料表面分析仪器,打破国外技术及产品垄断,实现仪器整机及关键核心部件国产化,助力我国集成电路、高端仪器、先进材料领域研发的技术突破,实现高质量发展。团队现有专职教师7人,其中教授6人,副教授5人,副研究员1人,高级工程师2人,研究生100余人。

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