10月13日，光刻机（886054）概念盘中局部异动，凯美特气（002549）(002549.SZ)直线涨停，蓝英装备（300293）(300293.SZ)、七彩化学（300758）(300758.SZ)、华特气体（688268）(688268.SH)、新莱应材（300260）(300260.SZ)、阳谷华泰（300121）(300121.SZ)等跟涨。
消息面上，据韩国媒体报道，ASML将把供应韩国的更换零部件价格统一上调10%，涵盖极紫外(EUV)和深紫外(DUV)光刻设备的全部零部件，自明年1月起生效。
